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国家科技重大专项(2009ZX02011-005A)

作品数：8 被引量：10H指数：2
相关作者：徐存良高文泉柳滨陈威陈波更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京中电科电子装备有限公司更多>>
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆 化学机械抛光 CMP 全自动 半导体设备
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
北京中电科电子装备有限公司
研究主题：晶圆 划片机 芯片 减薄 键合
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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