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国家高技术研究发展计划(2009AA043102)
作品数:
1
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相关作者:
孟凡辉
王宏智
吴旭
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相关机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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国家高技术研究发展计划
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶圆 全自动 多线切割机
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