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深圳市基础研究计划项目(JC201005280634A)
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廖峥
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清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
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重庆大学电气工程学院输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室
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清华大学研究院
研究主题:抛光 存储介质 化学机械抛光 基底 抗菌
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