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国家高技术研究发展计划(2002AA404230)

作品数：4 被引量：10H指数：1
相关作者：赵湛陈绍凤秦宁张博军夏善红更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
赵湛
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS MEMS技术 无线传感器网络 传感器 风速风向传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈绍凤
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦宁
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：微针 MEMS 电磁驱动 SU-8胶 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏善红
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张博军
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 集成传感器 MEMS技术 湿压 氮化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈贤祥
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 热驱动 血压 屏蔽电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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