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国家自然科学基金(50775122)

作品数：5 被引量：15H指数：3
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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘岩
供职机构：清华大学航天航空学院
研究主题：无网格法 分子动力学 无网格 动力学方法 无单元法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴媛静
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇宏
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题：化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：铜 化学机械抛光 氨基乙酸 腐蚀坑 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚剑锋
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：化学机械抛光 聚苯乙烯颗粒 PS 去除速率 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴惠芳
供职机构：清华大学研究院
研究主题：钛 基片 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱永华
供职机构：清华大学研究院
研究主题：电塑性 钢丝 电刷镀层 电塑性效应 拔丝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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