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国家高技术研究发展计划(2002AA404080)

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相关作者:张正元税国华更多>>
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领域

  • 2个电子电信
  • 2个自动化与计算...
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  • 1个电气工程
  • 1个医药卫生
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主题

  • 2个单晶
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  • 1个导电类型

机构

  • 2个中国电子科技...
  • 1个电子工业部
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 2个国家高技术研...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国家重点基础...

传媒

  • 2个微电子学
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  • 1个重庆医学
  • 1个第三军医大学...
  • 1个环境技术
  • 1个纳米科技
  • 1个第八届中国微...
  • 1个第十七届全国...
  • 1个第十四届全国...
  • 1个中国微米/纳...
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地区

  • 2个重庆市
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张正元
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:微电子机械系统 硅薄膜 多晶硅 电路 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
税国华
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:互补双极工艺 可靠性 MEMS 传输路径 SPC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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