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国家高技术研究发展计划(2002AA404080)
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张正元
税国华
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中国电子科技集团第二十四研究所
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张正元
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:微电子机械系统 硅薄膜 多晶硅 电路 键合
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税国华
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:互补双极工艺 可靠性 MEMS 传输路径 SPC
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