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国家重点实验室开放基金(51485030105JW0801)

作品数：3 被引量：9H指数：2
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地区

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
朱军
供职机构：上海交通大学
研究主题：微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
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贾书海
供职机构：西安交通大学
研究主题：振动测量 光纤光栅 相移 光纤光栅应变传感器 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李以贵
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙潇
供职机构：西安交通大学理学院光信息科学与技术系
研究主题：微电子机械系统 微针 有限元 力学性能 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段炼
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：氧气 氧 SU-8光刻胶 RIE 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈迪
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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