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北京市自然科学基金(4052017)

作品数：4 被引量：4H指数：2
相关作者：张国炳田大宇郭辉李志宏张海霞更多>>
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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
张国炳
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭辉
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王煜
供职机构：北京大学
研究主题：应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈哲
供职机构：北京大学
研究主题：SIC 控制技术 离子注入 退火 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈晟
供职机构：北京大学
研究主题：反应离子刻蚀 功率 氢含量 压强 PECVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
纪明
供职机构：北京大学
研究主题：SIC 控制技术 离子注入 退火 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮
供职机构：北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题：硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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