您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(2013AA041101)

作品数：19 被引量：77H指数：5
相关作者：许高斌陈兴马渊明展明浩闵锐更多>>
相关机构：合肥工业大学中国兵器工业集团合肥科盛微电子科技有限公司更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划安徽省科技攻关计划江苏省科技支撑计划项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>

领域

  • 20个电子电信
  • 15个自动化与计算...
  • 11个机械工程
  • 8个一般工业技术
  • 5个电气工程
  • 5个交通运输工程
  • 5个理学
  • 4个化学工程
  • 4个核科学技术
  • 3个经济管理
  • 2个生物学
  • 2个建筑科学
  • 2个医药卫生
  • 2个文化科学
  • 1个天文地球
  • 1个冶金工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个动力工程及工...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 14个刻蚀
  • 14个感器
  • 14个传感
  • 14个传感器
  • 12个硅刻蚀
  • 11个加速度
  • 10个单片
  • 10个等离子体
  • 9个网络
  • 8个单片集成
  • 8个等离子体刻蚀
  • 8个电路
  • 8个多晶
  • 8个多晶硅
  • 8个压阻
  • 7个电极
  • 7个电阻
  • 7个压阻式
  • 6个电容式
  • 4个导电类型

机构

  • 17个合肥工业大学
  • 4个中国科学院
  • 3个中北大学
  • 3个中国科学技术...
  • 3个中国科学院微...
  • 3个中国兵器工业...
  • 3个江苏物联网研...
  • 2个安徽大学
  • 1个东南大学
  • 1个清华大学
  • 1个教育部
  • 1个中国科学院研...
  • 1个中国科学院长...
  • 1个中国科学院大...
  • 1个北方通用电子...

资助

  • 24个国家高技术研...
  • 14个安徽省科技攻...
  • 8个国家自然科学...
  • 4个安徽省自然科...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个中央高校基本...
  • 3个国家教育部博...
  • 3个中国人民解放...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个山西省自然科...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个安徽省高校省...
  • 1个Intern...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个安徽省教育厅...
  • 1个北京市教育委...
  • 1个上海市高校选...

传媒

  • 11个真空科学与技...
  • 10个微纳电子技术
  • 9个电子科技
  • 8个传感技术学报
  • 8个电子测量与仪...
  • 7个仪表技术与传...
  • 5个电子技术应用
  • 5个电子器件
  • 5个电子元件与材...
  • 5个传感器与微系...
  • 4个Journa...
  • 4个微电子学
  • 3个红外与激光工...
  • 3个半导体技术
  • 3个合肥工业大学...
  • 3个红外与毫米波...
  • 3个核聚变与等离...
  • 2个物理学报
  • 2个安徽大学学报...
  • 2个微电子学与计...

地区

  • 19个安徽省
  • 2个北京市
  • 1个山西省
共 24 条 记 录，以下是 1-10
许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈兴
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 传感器 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马渊明
供职机构：合肥工业大学
研究主题：谐振式压力传感器 多孔硅 MEMS 光电探测器 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
展明浩
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：ICP 工艺参数 刻蚀 ICP刻蚀 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闵锐
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：超声波 测距系统 测距算法 IIR数字滤波器 信号处理方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢翌
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：液位测量 汽车油箱 汽车 结构特点 微系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张胜兵
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多孔硅 湿度传感器 单片集成 划片 钝化层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡芳菲
供职机构：合肥工业大学
研究主题：PIFA天线 RF_MEMS开关 多频段 多频 平面倒F天线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文靖
供职机构：中国兵器工业集团
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李凌宇
供职机构：合肥工业大学
研究主题：纳米硅薄膜 传感器研究 SOI 压力传感器 微压
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0