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国家自然科学基金(50577037)

作品数：8 被引量：58H指数：5
相关作者：朱煜尹文生王春洪刘经宇杨开明更多>>
相关机构：清华大学华东理工大学更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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  • 4个机械与电子
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地区

  • 12个北京市
  • 2个上海市
  • 1个湖北省
  • 1个云南省
  • 1个广东省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王春洪
供职机构：清华大学
研究主题：PID自整定 高温氧化 扩散炉 温度控制 鲁棒性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘经宇
供职机构：清华大学
研究主题：PROFIBUS-DP 蚁群算法 城市交通 启发式搜索 信息融合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李恒
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：精密工作台 扰动观测器 气浮导轨 运动轨迹规划 超精密
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨一博
供职机构：清华大学
研究主题：PID自整定 高温氧化 扩散炉 温度控制 并联驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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