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上海-AM基金(0402)

作品数：4 被引量：10H指数：2
相关作者：王跃林李铁马铁英刘文平明安杰更多>>
相关机构：中国科学院中国计量学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：上海-AM基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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  • 5个机械工程
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主题

  • 7个电阻
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  • 5个多晶
  • 5个多晶硅
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  • 3个氮化
  • 3个氮化硅
  • 3个低电压
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机构

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  • 4个中国科学院研...
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  • 2个中科院上海微...
  • 2个中国科学院上...
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资助

  • 8个国家重点基础...
  • 8个上海-AM基...
  • 5个国家高技术研...
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  • 3个上海市高校选...
  • 3个上海市教育委...
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  • 3个中国科学院知...
  • 2个高等学校骨干...
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传媒

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  • 2个中国基础科学

地区

  • 5个上海市
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共 8 条 记 录，以下是 1-8
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马铁英
供职机构：中国计量学院光学与电子科技学院
研究主题：退火 电阻温度系数 非晶硅 掺磷 各向异性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘文平
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘义冬
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：热电堆 CMOS兼容 多晶硅 微机械 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王翊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 红外气体传感器 红外探测器 微机械热电堆 红外光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周萍
供职机构：中国科学院
研究主题：掺磷 非晶硅 电阻温度系数 热敏材料 退火行为
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
明安杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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