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国家自然科学基金(60476010)
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2
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相关作者:
屈新萍
茹国平
郑宏兴
王光伟
李炳宗
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
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供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 钌 TAN 籽晶
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周觅
供职机构:复旦大学
研究主题:钌 TAN 扩散阻挡层 籽晶 铜互连
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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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郑宏兴
供职机构:天津工程师范大学
研究主题:热退火 ZNO 光电特性 光电器件 ZNO薄膜
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王光伟
供职机构:天津职业技术师范大学电子工程学院
研究主题:固相反应 太阳能 晶粒生长 非晶硅 太阳灶
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陈韬
供职机构:复旦大学
研究主题:氧化锌纳米棒 微电子 场效应晶体管 阳极氧化铝模板 旋涂
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