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国家自然科学基金(60506017)
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韩伟华
杨富华
张杨
樊中朝
汤圆美树
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韩伟华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅基 晶体管 纳米线 硅纳米线 硅衬底
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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张杨
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:高电子迁移率晶体管 电子束曝光 生物传感器 隔离层 锑化物
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汤圆美树
供职机构:北海道大学
研究主题:GAA DETECTION BASED TERAHERTZ PHOTON
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杨香
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
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葛西诚也
供职机构:北海道大学
研究主题:GAA DETECTION BASED TERAHERTZ PHOTON
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王颖
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电子束曝光 大功率 版图 二维光子晶体 硅纳米线
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樊中朝
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:刻蚀 干法刻蚀 碳化硅 SOI 多模干涉耦合器
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