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国家重点基础研究发展计划(G1999033101)

作品数：30 被引量：142H指数：7
相关作者：王跃林熊斌车录锋焦继伟黄小振更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院上海冶金研究所浙江大学更多>>
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领域

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地区

  • 25个上海市
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  • 1个四川省
  • 1个广东省
共 33 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 微机电系统 热导检测器 固定相 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄小振
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 接口电路 PSPICE软件 固有频率 自激
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院广州能源研究所
研究主题：微机械 硅 基片 热电转换效率 片状
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董林玺
供职机构：杭州电子科技大学
研究主题：锚点 传感器 电极 振子 惯性传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：灵敏度 微压传感器 盆腔 压力传感器 微机械传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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