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河北省教育厅科研基金(2011128)

作品数：13 被引量：30H指数：4
相关作者：刘玉岭李炎李洪波王傲尘牛新环更多>>
相关机构：河北工业大学河北联合大学河北科技大学更多>>
发文基金：河北省教育厅科研基金河北省自然科学基金国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术更多>>

领域

  • 33个电子电信
  • 24个金属学及工艺
  • 17个理学
  • 12个化学工程
  • 11个自动化与计算...
  • 11个一般工业技术
  • 8个环境科学与工...
  • 8个文化科学
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  • 5个轻工技术与工...
  • 4个机械工程
  • 4个交通运输工程
  • 3个经济管理
  • 3个建筑科学
  • 2个哲学宗教
  • 2个天文地球
  • 2个石油与天然气...
  • 2个冶金工程
  • 2个动力工程及工...
  • 2个医药卫生

主题

  • 31个CMP
  • 29个化学机械抛光
  • 29个机械抛光
  • 27个磨料
  • 25个去除速率
  • 23个抛光液
  • 21个活性剂
  • 21个碱性抛光液
  • 21个铜
  • 20个平坦化
  • 20个化学机械平坦...
  • 20个表面活性
  • 20个表面活性剂
  • 17个螯合剂
  • 17个面粗糙度
  • 16个铜布线
  • 15个阻挡层
  • 14个电路
  • 14个互连
  • 12个铜互连

机构

  • 33个河北工业大学
  • 2个河北工学院
  • 1个邯郸学院
  • 1个天津铁道职业...
  • 1个天津大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个河北科技大学
  • 1个天津理工大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个电子部
  • 1个河北联合大学
  • 1个中国人民政治...
  • 1个中芯国际集成...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个杭州西湖房地...
  • 1个天津电子材料...
  • 1个天津冶金职业...

资助

  • 33个河北省教育厅...
  • 30个河北省自然科...
  • 27个国家中长期科...
  • 18个国家科技重大...
  • 13个天津市自然科...
  • 11个国家自然科学...
  • 7个国家教育部博...
  • 6个河北省高等学...
  • 4个博士科研启动...
  • 4个河北省科技计...
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  • 3个河北省教育厅...
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  • 2个教育部重点实...
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传媒

  • 26个微纳电子技术
  • 19个半导体技术
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  • 13个功能材料
  • 12个电镀与涂饰
  • 11个稀有金属
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  • 8个固体电子学研...
  • 7个电镀与精饰
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  • 7个微电子学
  • 6个化工中间体
  • 5个天津科技
  • 5个粘接
  • 5个中国表面工程
  • 5个第十四届全国...
  • 4个电子工艺技术
  • 4个微细加工技术
  • 4个天津纺织科技

地区

  • 30个天津市
  • 3个河北省
共 33 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李炎
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：聚苯胺 防腐涂料 磨料 表面粗糙度 涂料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李洪波
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：磨料 黏度 表面粗糙度 铜 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王傲尘
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：磨料 化学机械平坦化 CMP 去除速率 化学反应动力学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫辰奇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张金
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐继英
供职机构：天津冶金职业技术学院
研究主题：化学机械抛光 磨料 黏度 现场总线 监控画面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
樊世燕
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 磨料 黏度 CMP 数据挖掘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵云鹤
供职机构：河北工业大学
研究主题：节能减排 节能 CMP 去除速率 混合磨料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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