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国家自然科学基金(50390061)

作品数：67 被引量：489H指数：11
相关作者：康仁科郭东明金洙吉苏建修申儒林更多>>
相关机构：大连理工大学中南大学河南科技学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺机械工程一般工业技术更多>>

领域

  • 36个金属学及工艺
  • 36个电子电信
  • 32个自动化与计算...
  • 30个机械工程
  • 30个一般工业技术
  • 27个化学工程
  • 25个文化科学
  • 25个理学
  • 17个电气工程
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  • 9个医药卫生
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  • 7个石油与天然气...
  • 5个天文地球

主题

  • 32个硅片
  • 29个抛光
  • 27个机械抛光
  • 26个面粗糙度
  • 26个粗糙度
  • 25个化学机械抛光
  • 25个表面粗糙度
  • 22个材料去除率
  • 21个纳米
  • 21个金刚石
  • 20个单晶
  • 19个单晶硅
  • 18个CMP
  • 17个单晶硅片
  • 17个陶瓷
  • 16个刀具
  • 16个电路
  • 16个润滑
  • 15个有限元
  • 15个抛光液

机构

  • 22个大连理工大学
  • 9个河南科技学院
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  • 5个清华大学
  • 4个西北工业大学
  • 4个中南大学
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  • 3个清华大学研究...
  • 2个哈尔滨工业大...
  • 2个吉林大学
  • 2个教育部
  • 2个中南工业大学
  • 1个大连工业大学
  • 1个东北大学
  • 1个贵州大学
  • 1个安徽大学
  • 1个复旦大学
  • 1个广东轻工职业...
  • 1个东南大学
  • 1个大连大学

资助

  • 41个国家自然科学...
  • 18个国家高技术研...
  • 16个国家重点基础...
  • 16个国家杰出青年...
  • 14个中国博士后科...
  • 10个河南省教育厅...
  • 10个河南省科技攻...
  • 10个创新研究群体...
  • 10个国家教育部博...
  • 10个国家重点实验...
  • 10个中央高校基本...
  • 9个辽宁省自然科...
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  • 5个国家自然科学...
  • 5个中国航空科学...
  • 4个国家留学基金
  • 4个上海市科委纳...
  • 4个博士科研启动...

传媒

  • 19个中国机械工程
  • 18个金刚石与磨料...
  • 16个半导体技术
  • 16个机械工程学报
  • 16个润滑与密封
  • 15个光学精密工程
  • 15个摩擦学学报（...
  • 15个机械设计与制...
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  • 10个Journa...
  • 10个机械制造
  • 10个航空制造技术
  • 9个机械工程师
  • 9个硅酸盐学报
  • 8个中国激光

地区

  • 17个辽宁省
  • 9个河南省
  • 4个北京市
  • 3个湖南省
  • 2个上海市
  • 2个广东省
  • 1个江苏省
  • 1个陕西省
  • 1个四川省
  • 1个贵州省
共 41 条 记 录，以下是 1-10
康仁科
供职机构：大连理工大学
研究主题：超声 砂轮 蜂窝芯 化学机械抛光 刀具
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭东明
供职机构：大连理工大学
研究主题：化学机械抛光 天线罩 抛光 硅片 杯形砂轮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金洙吉
供职机构：大连理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光 超精密加工 抛光液 金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏建修
供职机构：河南科技学院
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 抛光辊 捕集装置 滚切
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
申儒林
供职机构：中南大学
研究主题：磁头 抛光 脉冲电流 脉冲电源 硬盘磁头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李秀娟
供职机构：华东政法学院知识产权学院
研究主题：化学机械抛光 铜 材料去除机理 ULSI 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭晓光
供职机构：大连理工大学
研究主题：单晶硅 分子动力学 超精密加工 纳米级 金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张银霞
供职机构：郑州大学
研究主题：残余应力 夹具 TBM 表面粗糙度 纹理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郜伟
供职机构：郑州大学
研究主题：硅片 教学模式 残余应力 表面粗糙度 划痕
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴任和
供职机构：广东轻工职业技术学院
研究主题：磁头 抛光 表面粗糙度 并联机构 研磨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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