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国家自然科学基金(60808014)
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相关作者:
王庆康
李海华
黎慧华
黄康
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王庆康
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:纳米压印 光电探测器 陷光结构 GAAS 纳米
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李海华
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:抗反射 基于FPGA 发光二极管 光子晶体 亚波长
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朱明轩
供职机构:上海交通大学
研究主题:纳米光刻 表面等离子体 表面等离子体激元 掩模板 光刻技术
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黎慧华
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:分布布拉格反射器 光栅
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黄康
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:亚波长 宽波段 抗反射 反应离子刻蚀 刻蚀
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