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国家自然科学基金(60808014)

作品数:5 被引量:6H指数:1
相关作者:王庆康李海华黎慧华黄康朱明轩更多>>
相关机构:上海交通大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信金属学及工艺更多>>

领域

  • 4个机械工程
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主题

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  • 3个光刻
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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 5个上海市
5 条 记 录,以下是 1-5
王庆康
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:纳米压印 光电探测器 陷光结构 GAAS 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海华
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:抗反射 基于FPGA 发光二极管 光子晶体 亚波长
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱明轩
供职机构:上海交通大学
研究主题:纳米光刻 表面等离子体 表面等离子体激元 掩模板 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黎慧华
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:分布布拉格反射器 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄康
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:亚波长 宽波段 抗反射 反应离子刻蚀 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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