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国家自然科学基金(59875060)

作品数：2 被引量：75H指数：2
相关作者：陈迪杨帆李以贵张立国赵旭更多>>
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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
陈迪
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
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赵旭
供职机构：上海交通大学
研究主题：实证研究 实证分析 循环经济 可持续发展 技术进步
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院
研究主题：DEM技术 SU-8胶 高深宽比 光刻 毛细管电泳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李以贵
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微电子机械系统 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立国
供职机构：上海交通大学
研究主题：DEM技术 SU-8 SU-8胶 高深宽比 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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