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国家高技术研究发展计划(2002AA4Z3000)

作品数：13 被引量：63H指数：4
相关作者：王向朝李小平施伟杰马明英何乐更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所华中科技大学同济大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金上海市科委重大科技攻关项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程经济管理更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 10个上海市
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  • 1个福建省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李小平
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施伟杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马明英
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何乐
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 工件台 不平度 测量系统 激光干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王帆
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
聂宏飞
供职机构：华中科技大学
研究主题：温度控制 光刻机 投影物镜 集成电路芯片 芯片键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张冬青
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 成像质量 像差 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈飞彪
供职机构：华中科技大学
研究主题：硅片表面 光刻机 硅片 茶叶揉捻机 测光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林桂娟
供职机构：厦门理工学院机械与汽车工程学院
研究主题：电活性聚合物 能量转换 CC-LINK现场总线 CC 集散控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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