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国家重点基础研究发展计划(2006CB932501)
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刘俊标
方光荣
吕士龙
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刘俊标
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 电子枪 超声电机 盲文 束流
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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殷伯华
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 电子枪 扫描电子显微镜 AFM
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电流变液 电子束曝光
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王丽娜
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:柔性铰链 磁性物质 传感器 测量方式 压电元件
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吕士龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 电极 相变材料 电子束曝光 对准标记
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方光荣
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
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靳鹏云
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光 电子束 图形发生器 SEM 扫描电子显微镜
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郭少鹏
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:充电 盲文 充电电路 放电电路 监测电路
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