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清华大学自主科研计划(20101081907)
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潘国顺
汪嘉澍
梁晓璐
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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梁晓璐
供职机构:清华大学研究院
研究主题:膜电极 膜电极组件 转印 质子交换膜燃料电池 催化层
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汪嘉澍
供职机构:清华大学研究院
研究主题:质子交换膜燃料电池 膜电极组件 膜电极 转印 催化剂
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徐莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
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郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 原子力显微镜 抛光液 扭转振动 轴承
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供职机构:清华大学研究院
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供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
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罗桂海
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
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