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国家科技重大专项(2011ZX02402)
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黄惠杰
杨宝喜
曾爱军
徐敏
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中国科学院大学
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
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徐敏
供职机构:复旦大学
研究主题:偏折 电子设备 精密测量技术 增强型 沟道
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王军华
供职机构:复旦大学
研究主题:全景 波前编码 干涉图 自准直仪 全景图像
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朱菁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
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胡中华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
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胡小邦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
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李璟
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
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金超群
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:大量程 MEMS光开关 激光测距 镜面 差分
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