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天津市科技攻关项目(043801211)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：时慧玲檀柏梅牛新环崔春翔刘玉岭更多>>
相关机构：河北工业大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金天津市科技攻关项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 5个电子电信
  • 4个化学工程
  • 4个金属学及工艺
  • 4个电气工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 4个理学
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  • 3个文化科学
  • 2个哲学宗教
  • 2个冶金工程
  • 1个机械工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个水利工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学
  • 1个政治法律

主题

  • 4个电化学
  • 3个大学生
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅
  • 3个氮化
  • 3个低K材料
  • 3个低K介质
  • 3个低K介质材料
  • 3个底片
  • 3个电池
  • 3个电路
  • 3个电偶
  • 3个电偶腐蚀
  • 3个电器件
  • 2个单晶硅片
  • 2个单晶片
  • 2个单片
  • 2个单片机
  • 2个单因素
  • 2个氮化硅

机构

  • 5个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个上海交通大学
  • 1个天津大学
  • 1个天津理工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个天津医科大学...

资助

  • 5个国家自然科学...
  • 5个国家教育部博...
  • 5个天津市科技攻...
  • 4个天津市自然科...
  • 4个河北省自然科...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个国家中长期科...
  • 3个河北省高等学...
  • 3个河北省教育厅...
  • 3个天津市重大科...
  • 2个国家科技型中...
  • 2个博士后科研启...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个河北省科技计...
  • 2个河北省科技支...
  • 2个天津市重点学...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个河南省教育厅...
  • 1个教育部科学技...

传媒

  • 5个功能材料
  • 5个第六届中国功...
  • 4个半导体技术
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  • 4个稀有金属
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  • 3个天津科技
  • 3个硅酸盐学报
  • 3个电镀与涂饰
  • 3个人工晶体学报
  • 3个微电子学
  • 3个微细加工技术
  • 3个微纳电子技术
  • 3个纳米技术与精...
  • 2个粉末冶金技术
  • 2个半导体情报
  • 2个电子工艺技术
  • 2个中国表面工程
  • 2个半导体杂志

地区

  • 5个天津市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
时慧玲
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 去除速率 粒径 CU
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔春翔
供职机构：河北工业大学
研究主题：孕育剂 钛合金 磁性能 SM TI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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