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国家自然科学基金(51175238)
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王权
李允
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张艳敏
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王权
供职机构:江苏大学机械工程学院
研究主题:压阻式压力传感器 高温压力传感器 氮化硅薄膜 SIMOX 绝对压力传感器
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李允
供职机构:江苏大学机械工程学院
研究主题:XPS 化学气相沉积 拉曼光谱 热稳定性研究 石墨烯
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丁建宁
供职机构:常州大学
研究主题:钙钛矿 太阳能电池 SUB 性能研究 石墨烯
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何宇亮
供职机构:南京大学物理学院物理学系
研究主题:纳米硅薄膜 纳米硅 硅 硅薄膜 H
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邓海君
供职机构:江苏大学机械工程学院
研究主题:XPS 化学气相沉积 拉曼光谱 微观结构 石墨烯
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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蒋力耘
供职机构:江苏大学机械工程学院
研究主题:波长 拉曼散射 拉曼谱 应力
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张艳敏
供职机构:江苏大学机械工程学院
研究主题:长宽比 压阻 压力传感器 绝对压力传感器 芯片
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胡然
供职机构:江苏大学机械工程学院
研究主题:衬底 表面粗糙度 RAMAN光谱 PECVD法 纳米硅薄膜
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