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西安应用材料创新基金(XA-AM-200610)
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7
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虞益挺
苑伟政
乔大勇
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苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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虞益挺
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
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乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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梁庆
供职机构:西北工业大学
研究主题:牺牲层 微机电系统 残余应力 刻蚀速率 自激
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王兰兰
供职机构:西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室
研究主题:微机电系统
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