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国家高技术研究发展计划(2009AA043101)

作品数：7 被引量：18H指数：3
相关作者：潘国顺刘岩戴媛静周艳龚剑锋更多>>
相关机构：清华大学研究院清华大学中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划广东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

领域

  • 11个电子电信
  • 8个机械工程
  • 6个金属学及工艺
  • 5个化学工程
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  • 5个理学
  • 4个电气工程
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  • 1个核科学技术
  • 1个农业科学
  • 1个政治法律

主题

  • 13个化学机械抛光
  • 13个机械抛光
  • 11个抛光
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  • 6个乙烯
  • 6个聚苯
  • 6个聚苯乙烯
  • 6个聚苯乙烯颗粒
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  • 6个苯乙烯
  • 6个铜
  • 6个CMP
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  • 5个氧化硅
  • 4个正交
  • 4个正交试验
  • 3个电路
  • 3个陶瓷

机构

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  • 7个清华大学
  • 4个中国电子科技...
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  • 1个中国矿业大学
  • 1个中国矿业大学...
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资助

  • 13个国家高技术研...
  • 9个广东省自然科...
  • 9个国家自然科学...
  • 8个国家重点基础...
  • 8个国际科技合作...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个创新研究群体...
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传媒

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  • 1个钢铁
  • 1个电子工艺技术
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地区

  • 5个广东省
  • 4个北京市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘岩
供职机构：清华大学航天航空学院
研究主题：无网格法 分子动力学 无网格 动力学方法 无单元法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
费玖海
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 温度控制 CMP工艺 PG
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚剑锋
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：化学机械抛光 聚苯乙烯颗粒 PS 去除速率 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴媛静
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周艳
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴惠芳
供职机构：清华大学研究院
研究主题：钛 基片 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱永华
供职机构：清华大学研究院
研究主题：电塑性 钢丝 电刷镀层 电塑性效应 拔丝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高慧莹
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 蓝宝石 衬底材料 LED 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘涛
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 泵头 蠕动泵 压力控制 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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共2页<12>
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