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博士科研启动基金(10zx7142)
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张德
杨林
苏伟
戴强
彭勃
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戴强
供职机构:西南科技大学
研究主题:温度漂移 微加速度计 三明治 测量方法 口模
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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杨林
供职机构:西南科技大学
研究主题:硅 温度漂移 微加速度计 微机械加速度计 热膨胀
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张德
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 温度漂移 微加速度计 微机械加速度计 热膨胀
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 微电子机械系统 微机电系统 加速度计 折叠波导
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