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中国博士后科学基金(2004036229)
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相关作者:
王春洪
尹文生
段广洪
朱煜
汪劲松
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中国博士后科学基金
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曹家勇
供职机构:上海应用技术学院机械工程学院
研究主题:开关磁阻电动机 磁浮 工件台 平面电动机 平面电机
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王春洪
供职机构:清华大学
研究主题:PID自整定 高温氧化 扩散炉 温度控制 鲁棒性
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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