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北京市科委项目(GYYKW05070014)

作品数：3 被引量：10H指数：2
相关作者：胡光伟刘泽文侯智昊李志坚刘理天更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市科委项目国家自然科学基金国家科技型中小企业技术创新基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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地区

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共 5 条 记 录，以下是 1-5
胡光伟
供职机构：清华大学
研究主题：接触式开关 RF_MEMS开关 MEMS开关 机械可靠性 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘泽文
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志坚
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯智昊
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：RF_MEMS开关 MEMS开关 毫米波 开关 射频微机电系统开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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