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国家科技重大专项(2011ZX02403-2)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：王建伟宋亦旭任天令李进春更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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地区

  • 4个北京市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
任天令
供职机构：清华大学
研究主题：铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建伟
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：SI 分子动力学模拟 分子动力学 刻蚀 等离子体刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋亦旭
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 元胞 微电子加工 机器人 刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李进春
供职机构：清华大学信息科学技术学院清华信息科学与技术国家实验室
研究主题：SI 分子动力学模拟 分子动力学 刻蚀 等离子体刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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