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国家自然科学基金(10505027)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：冯涛柳襄怀江炳尧王曦任琮欣更多>>
相关机构：华东师范大学中国科学院更多>>
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相关领域：理学电子电信金属学及工艺更多>>

领域

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地区

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冯涛
供职机构：华东师范大学
研究主题：碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳襄怀
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江炳尧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任琮欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王曦
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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