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国家自然科学基金(9027022)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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共 3 条 记 录，以下是 1-3
杨银堂
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：硅 片上网络 电路 CMOS 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪家友
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：电子回旋共振 A-C:F 淀积 ECR-CVD 化学气相淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴振宇
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：电子回旋共振 铜互连 A-C:F 电迁移 ECR-CVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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