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国家自然科学基金(10505005)
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张鹏云
吴静
王德真
张健
齐雪莲
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张鹏云
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 电弧 尘埃等离子体 脉冲调制 轴向磁场
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齐雪莲
供职机构:大连理工大学
研究主题:非平衡磁控溅射 CU膜 LANGMUIR探针 发射光谱 射频
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王德真
供职机构:大连理工大学物理与光电工程学院
研究主题:大气压 等离子体 辉光放电 数值模拟 鞘层
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麻冰欣
供职机构:大连理工大学
研究主题:非平衡磁控溅射 磁控溅射 CU膜 薄膜沉积技术 辅助磁场
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任春生
供职机构:大连理工大学
研究主题:介质阻挡放电 等离子体 大气压 纳秒脉冲 大气压辉光放电
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马腾才
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 离子注入 强流脉冲离子束 强流脉冲离子束辐照 辉光放电
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张娇
供职机构:大连理工大学
研究主题:AR 发射光谱诊断 脉冲调制 电子激发温度 SIH
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吴静
供职机构:大连理工大学
研究主题:尘埃等离子体 等离子体鞘层 数值模拟 硅压力传感器 尘埃云
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张健
供职机构:大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题:LANGMUIR探针 感应耦合等离子体 发射光谱 和光 等离子体参数
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