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中国博士后科学基金(2011M500996)

作品数：4 被引量：8H指数：2
相关作者：夏洋李超波万军饶志鹏陈波更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所嘉兴科民电子设备技术有限公司浙江大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

领域

  • 7个理学
  • 6个化学工程
  • 6个电子电信
  • 6个一般工业技术
  • 3个机械工程
  • 3个电气工程
  • 3个自动化与计算...
  • 2个金属学及工艺
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个文化科学
  • 1个矿业工程

主题

  • 7个等离子体增强
  • 7个原位掺杂
  • 7个原子层沉积
  • 6个氮化
  • 6个氮化铝
  • 6个氧化锌
  • 6个石墨
  • 5个氮化镓
  • 5个电池
  • 5个原位
  • 4个单晶
  • 4个氮化铝薄膜
  • 4个氮化碳
  • 4个氮化碳薄膜
  • 4个氮化镓薄膜
  • 4个氮气
  • 4个等离子体
  • 4个等离子体辅助
  • 4个低温低压
  • 4个电特性

机构

  • 7个中国科学院微...
  • 5个浙江大学
  • 5个嘉兴科民电子...
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学院嘉...
  • 1个北京科技大学
  • 1个辽宁工业大学
  • 1个中国科学技术...

资助

  • 7个中国博士后科...
  • 6个国家自然科学...
  • 6个国家科技重大...
  • 6个中国科学院科...
  • 5个国家高技术研...
  • 5个中国科学院知...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个辽宁省科技厅...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个北京市教委科...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个辽宁省高校创...
  • 1个辽宁省自然科...
  • 1个应用光学国家...
  • 1个中国科学院微...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 6个真空科学与技...
  • 5个半导体技术
  • 5个无机材料学报
  • 5个微纳电子技术
  • 4个物理学报
  • 4个激光与光电子...
  • 3个功能材料
  • 3个固体电子学研...
  • 2个北京科技大学...
  • 2个太阳能学报
  • 2个Journa...
  • 2个电子工艺技术
  • 2个金属热处理
  • 2个材料保护
  • 2个发光学报
  • 2个仪表技术与传...
  • 2个光电工程
  • 2个现代电子技术
  • 2个材料导报（纳...
  • 2个传感器与微系...

地区

  • 7个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方攸同
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体增强 原子层沉积 原位掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯嘉恒
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 晶态薄膜 钝化 前驱体 太阳能电池
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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