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国家高技术研究发展计划(2003AA421060)
作品数:
4
被引量:30
H指数:1
相关作者:
陈国栋
贾培发
宋亦旭
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相关机构:
清华大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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贾培发
供职机构:清华大学
研究主题:智能机器人 机器人 微电子加工 虚拟现实 刻蚀
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陈国栋
供职机构:清华大学计算机科学与技术系
研究主题:机器人 光学定位 脑外科机器人 视觉伺服 分散控制
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供职机构
所获资助
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宋亦旭
供职机构:清华大学
研究主题:刻蚀 元胞 微电子加工 机器人 刻蚀工艺
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