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中央高校基本科研业务费专项资金(2090050017)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：陈大鹏欧毅程腾张青川毛亮更多>>
相关机构：北京空间飞行器总体设计部中国科学技术大学中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

领域

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  • 2个氮化硅膜
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机构

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传媒

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地区

  • 3个安徽省
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
程腾
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：非制冷红外成像 焦平面阵列 光学读出 基底 偏振片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史海涛
供职机构：北京空间飞行器总体设计部
研究主题：光学读出 非制冷红外成像 焦平面阵列 卫星结构 热稳定性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张青川
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛亮
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院中科院材料力学行为和设计重点实验室
研究主题：非制冷红外成像 光学读出 焦平面阵列 基底 FPA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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