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安徽省科技攻关计划(10120106005)

作品数：9 被引量：46H指数：5
相关作者：陈兴许高斌马渊明李凌宇卢翌更多>>
相关机构：合肥工业大学中国兵器工业集团更多>>
发文基金：安徽省科技攻关计划国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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  • 1个物理学报

地区

  • 15个安徽省
共 16 条 记 录，以下是 1-10
陈兴
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 传感器 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马渊明
供职机构：合肥工业大学
研究主题：谐振式压力传感器 多孔硅 MEMS 光电探测器 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李凌宇
供职机构：合肥工业大学
研究主题：纳米硅薄膜 传感器研究 SOI 压力传感器 微压
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢翌
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：液位测量 汽车油箱 汽车 结构特点 微系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩成成
供职机构：合肥工业大学
研究主题：Z轴 加速度传感器 液位测量 汽车油箱 汽车
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪祖民
供职机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院
研究主题：SOI 压敏电阻 高G值 沟道 随机网络
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
皇华
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
展明浩
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：ICP 工艺参数 刻蚀 ICP刻蚀 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡潇
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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