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国家中长期科技发展规划重大专项

作品数：257 被引量：1,053H指数：18
相关作者：刘玉岭王辰伟牛新环闫辰奇孙鸣更多>>
相关机构：河北工业大学北京空间飞行器总体设计部北京控制工程研究所更多>>
发文基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金河北省教育厅科研基金更多>>
相关领域：航空宇航科学技术电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

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地区

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共 466 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫辰奇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鸣
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张洪华
供职机构：北京控制工程研究所
研究主题：敏感器 软着陆 航天器 月面 着陆器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李骥
供职机构：北京控制工程研究所
研究主题：软着陆 着陆器 月球软着陆 月面 天体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾阳
供职机构：北京空间飞行器总体设计部
研究主题：火星车 月面巡视探测器 月面 航天器 月球车
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张金
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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