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河北省教育厅科学技术研究计划(2007429)

作品数：6 被引量：8H指数：2
相关作者：刘玉岭牛新环穆会来肖文明梁蒲更多>>
相关机构：河北工业大学更多>>
发文基金：河北省教育厅科学技术研究计划国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>

领域

  • 19个电子电信
  • 13个金属学及工艺
  • 8个一般工业技术
  • 6个化学工程
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  • 1个机械工程
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  • 1个交通运输工程
  • 1个医药卫生

主题

  • 18个化学机械抛光
  • 18个机械抛光
  • 16个抛光
  • 15个去除速率
  • 14个抛光液
  • 12个粗糙度
  • 10个硬盘基板
  • 10个抛光速率
  • 10个基板
  • 10个碱性抛光液
  • 9个磨料
  • 9个碱性条件
  • 8个合金
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  • 7个铝合金
  • 7个镁铝合金
  • 6个单晶
  • 6个电化学
  • 5个电池
  • 5个电路

机构

  • 19个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个北京七星华创...

资助

  • 19个国家自然科学...
  • 19个河北省教育厅...
  • 15个国家教育部博...
  • 13个天津市自然科...
  • 7个国家科技重大...
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  • 2个天津市重大科...
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  • 1个河北省教育厅...

传媒

  • 18个半导体技术
  • 10个微纳电子技术
  • 6个河北工业大学...
  • 5个功能材料
  • 4个微细加工技术
  • 4个第六届中国功...
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  • 3个Journa...
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  • 2个润滑与密封
  • 2个中国表面工程
  • 2个人工晶体学报
  • 2个河北科技大学...
  • 2个微计算机信息
  • 2个微电子学
  • 2个清洗世界
  • 2个纳米技术与精...

地区

  • 18个天津市
  • 1个北京市
共 19 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆会来
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 抛光 化学机械抛光 钽 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖文明
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅太阳电池 多晶硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙业林
供职机构：河北工业大学
研究主题：粗糙度 去除速率 化学机械抛光 表面粗糙度 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金玉
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 蓝宝石衬底 CMP 后表面 电化学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢竹石
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：鉴频鉴相器 锁相环 低噪声 粗糙度 氧化剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
边征
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅太阳电池 多晶硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁培桓
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：SI 硅晶片 单晶片 黏度 切削液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏恒
供职机构：河北工业大学
研究主题：粗糙度 去除速率 表面粗糙度 化学机械抛光 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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