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中国工程物理研究院科技发展基金(2010A0302013)

作品数：14 被引量：28H指数：4
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地区

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共 26 条 记 录，以下是 1-10
高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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官承秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微机械陀螺 流量传感器 微电子机械系统 测试装置 信号接口
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
代富
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：MEMS 流量传感器 微电子机械系统 微机械陀螺 传感器设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何移
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦燃
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：射频微电子机械系统 并联开关 开关 驱动电压 电容式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑英彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 太赫兹 滤波器 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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