2025年2月3日
星期一
|
欢迎来到贵州省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
国家科技重大专项(2009ZX02035-006)
作品数:
2
被引量:4
H指数:2
相关作者:
闫江
陈广璐
高建峰
吴次南
贺晓彬
更多>>
相关机构:
中国科学院微电子研究所
贵州大学
更多>>
发文基金:
国家科技重大专项
更多>>
相关领域:
电子电信
更多>>
相关作品
相关人物
相关机构
相关资助
相关领域
人物
机构
主题
传媒
资助
领域
任意字段
机构
人物
主题
传媒
资助
领域
任意字段
在结果中检索
领域
13个
电子电信
9个
文化科学
8个
自动化与计算...
7个
化学工程
7个
一般工业技术
6个
金属学及工艺
6个
电气工程
6个
理学
4个
交通运输工程
3个
经济管理
2个
矿业工程
2个
建筑科学
2个
农业科学
1个
生物学
1个
机械工程
1个
轻工技术与工...
1个
核科学技术
1个
医药卫生
1个
自然科学总论
主题
11个
叠层
11个
掩模
10个
电极
10个
堆叠
9个
导体
9个
电路
9个
电子束
9个
短沟道
9个
短沟道效应
8个
单晶
8个
电子束光刻
8个
电子束直写
8个
电阻
7个
氮化
7个
氮化硅
7个
电器件
7个
电子束曝光
6个
导电
6个
电学性能
6个
电子设备
机构
12个
中国科学院微...
2个
贵州大学
2个
清华大学
1个
贵州民族大学
1个
北京大学
1个
遵义师范学院
资助
13个
国家科技重大...
6个
国家自然科学...
2个
国家重点基础...
1个
北京市科技新...
1个
北京市自然科...
1个
贵州省科学技...
1个
国家高技术研...
1个
贵州省自然科...
1个
贵州科学技术...
1个
贵州省高层次...
1个
贵州省优秀科...
1个
国家电网公司...
1个
教育部“新世...
1个
教育部人文社...
1个
中国科学院“...
1个
中国科学院战...
1个
教育部规划基...
传媒
10个
微纳电子技术
6个
半导体技术
5个
微电子学
4个
真空科学与技...
3个
2013‘全...
2个
电子科技
2个
稀有金属
2个
中国科技成果
1个
光谱实验室
1个
低温物理学报
1个
稀有金属材料...
1个
电讯技术
1个
物理实验
1个
科学通报
1个
Journa...
1个
食品工业科技
1个
科研管理
1个
激光与光电子...
1个
中国激光
1个
光学学报
地区
12个
北京市
1个
贵州省
共
13
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
闫江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
赵利川
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:料层 场效应晶体管 金属硅化物 穿通 选择性刻蚀
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
唐兆云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
陈广璐
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:粗糙度 掩膜 精确控制 金属栅极 图案化
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
吴次南
供职机构:贵州大学
研究主题:微波加热 高考 教育公平 杀菌效果 超导转变
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
唐波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
贺晓彬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
许静
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 隧道结 磁矩 沟道
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李春龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
全选
清除
导出
共2页
<
1
2
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张