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教育部科学技术研究重点项目(0216)

作品数：2 被引量：38H指数：2
相关作者：张海霞张泰华郇勇郭辉肖志勇更多>>
相关机构：北京大学中国科学院力学研究所更多>>
发文基金：教育部科学技术研究重点项目国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术电子电信更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 7个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖志勇
供职机构：北京大学微电子学研究院
研究主题：MEMS 微电子机械系统 CAD 点化 系统设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭辉
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张泰华
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：压头 残余应力 磁控溅射 靶材 浮空器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郇勇
供职机构：中国科学院力学研究所
研究主题：材料试验机 微尺度 试验机 测试仪 电磁式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周荣春
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 操作系统 CAD系统 半导体加工 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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