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国家自然科学基金(10675030)

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相关作者：袁国玉高巍丁振峰更多>>
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领域

  • 3个电子电信
  • 3个理学
  • 2个核科学技术
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个一般工业技术

主题

  • 3个等离子体
  • 3个射频等离子体
  • 3个共模
  • 3个共模信号
  • 3个放电
  • 3个感性耦合
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
  • 1个氮化硅薄膜
  • 1个氮杂
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  • 1个等离子
  • 1个等离子体化学...
  • 1个等离子体刻蚀
  • 1个等离子体密度
  • 1个等离子体物理
  • 1个等离子体源
  • 1个等离子体诊断
  • 1个低温等离子体
  • 1个电弧离子镀

机构

  • 3个大连理工大学
  • 1个华南师范大学
  • 1个中国科学院等...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个中国博士后科...

传媒

  • 3个物理学报
  • 3个核聚变与等离...
  • 1个新技术新工艺
  • 1个电子学报
  • 1个物理
  • 1个金属热处理
  • 1个核技术
  • 1个光子学报
  • 1个功能材料
  • 1个辽宁师范大学...
  • 1个电工技术杂志
  • 1个仪表技术与传...
  • 1个真空与低温
  • 1个真空科学与技...
  • 1个真空电子技术
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  • 1个2006全国...
  • 1个2006全国...
  • 1个第九届全国等...

地区

  • 3个辽宁省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
高巍
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：感性耦合 放电 射频等离子体 共模信号
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁国玉
供职机构：大连理工大学
研究主题：共模信号 磁场测量 幅值 共模干扰 可变电容
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁振峰
供职机构：大连理工大学
研究主题：SI ECR-PECVD 等离子体 氮化硅 电子回旋共振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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