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上海市科学技术委员会资助项目(0214nm085)

作品数:1 被引量:3H指数:1
相关作者:杨传仁王曦张继华更多>>
相关机构:电子科技大学中国科学院更多>>
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传媒

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地区

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3 条 记 录,以下是 1-3
张继华
供职机构:电子科技大学
研究主题:射频磁控溅射 BST 铁电薄膜 介电性能 基片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨传仁
供职机构:电子科技大学
研究主题:铁电薄膜 钛酸锶钡 BST BST薄膜 射频磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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