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国家科技重大专项(2011ZX02705-004)
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2
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蒋宇辉
高岩
江轩
何金江
王欣平
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北京有色金属研究总院
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何金江
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:靶材 溅射靶材 背板 激光熔覆 激光沉积
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江轩
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:溅射靶材 贵金属 带材 靶材 集成电路
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蒋宇辉
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:铜 靶材 溅射 集成电路互连线 互连线
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高岩
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:铜 靶材 溅射 集成电路 溅射靶材
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王欣平
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:溅射靶材 时效强化 铜合金 高纯 显微组织
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董亭义
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:溅射靶材 非晶合金 靶材 管式结晶器 镧
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刘宏宾
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:阳极 集成电路 磷铜 电镀
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