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国家高技术研究发展计划(2008AA031301)
作品数:
1
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相关作者:
严大洲
谢正和
汤传斌
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相关机构:
中国恩菲工程技术有限公司
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国家高技术研究发展计划
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严大洲
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 还原炉 氯硅烷
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谢正和
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:四氯化硅 多晶硅 纳米级二氧化硅 氯化氢 脱酸
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相关人物
供职机构
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汤传斌
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
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