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国家自然科学基金(60172001)

作品数：6 被引量：36H指数：2
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白强
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：微型电场传感器 电场传感器 屏蔽电极 传感器 三维电场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚超
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 微机电系统 仿真 屏蔽电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏善红
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈绍凤
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓凯
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：微机电系统 微型电场传感器 电场传感器 毛细作用 亲水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴强
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：微型电场传感器 电场传感器 MEMS技术 激振 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶虎
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 微机电系统 有限元
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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