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国家重点基础研究发展计划(2006CB00403)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：林梓鑫王跃林杨恒张颖焦继伟更多>>
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共 7 条 记 录，以下是 1-7
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵全斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：压阻检测 谐振特性 谐振 纳机电系统 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张颖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林梓鑫
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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