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国家科技重大专项(2011ZX2403-002)

作品数：7 被引量：5H指数：2
相关作者：宋亦旭孙晓民郑树琳杨宏军贾培发更多>>
相关机构：清华大学中国人民解放军沈阳炮兵学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

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地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
宋亦旭
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 元胞 微电子加工 机器人 刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙晓民
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 元胞 微电子加工 OSEK 汽车电子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑树琳
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀工艺 元胞 刻蚀 微电子加工 仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阮聪
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 蒙特卡洛方法 产额 仿真方法 内存空间
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾培发
供职机构：清华大学
研究主题：智能机器人 机器人 微电子加工 虚拟现实 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宏军
供职机构：清华大学
研究主题：微电子加工 元胞 刻蚀 元胞自动机 等离子体刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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