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国家自然科学基金(60474053)

作品数：2 被引量：12H指数：2
相关作者：车录锋熊斌赵楷谢铮王跃林更多>>
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地区

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢铮
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：高Q值 静电 微陀螺 微机械陀螺 自激振动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王俊杰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：静电 MEMS加速度传感器 检测电路 高Q值 微陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李玉芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 检波电路 硅 键合 太阳电池阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵楷
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：VERILOG-A MEMS加速度计 寄生电容 机械噪声 集成接口
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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